平面型磷化铟双极型晶体管

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平面型磷化铟双极型晶体管

苏里曼

【期刊名称】《固体电子学研究与进展》 【年(卷),期】1990(10)1

【摘 要】本文提出并制成一种平面型InP双极型晶体管.其基区采用Zn扩散,发射区采用Si离子注入,结果表明晶体管的共发射极电流增益h_(FE)=20,器件可在很小电流下工作(I_C=1μA,h_(FE)=5).由于器件结构和工艺类似Si平面晶体管,预计它可广泛应用于InP高速电路和光电单片集成电路. 【总页数】2页(P119-120)

【关键词】平面型;双极型;晶体管;磷化铟 【作 者】苏里曼

【作者单位】北京电子管厂 【正文语种】中 文 【中图分类】TN322.8 【相关文献】

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