旋涂仪说明书

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CHEMAT TECHNOLOGY SPIN-COATER KW-4A 使用指导书 【面板说明】 撰稿者:张辉盛&庄胜佑 (1) POWER : 旋转涂布机电源开关.

(2) Speed I : 第一段转速设定.可调整转速范围 : 500~2500 R.P.M Speed II : 第二段转速设定.可调整转速范围 : 1000~8000 R.P.M (3) CONTROL :

A.在机台运转前须先将此按钮打开.

B.当机台在运转中,须立即停止时,关闭此按钮. (4) VACUUM :

A.控制真空到真空吸盘上.

B.若此按钮没有打开,则马达将不会启动.

C.若在机台运转的状态下,关闭此按钮,则机台将停止运转. (5) START :

A.启动机台并开始运转.

B.唯有在VACUUM 及CONTROL 按钮都启动的状态下启动按钮才会动作. (6) Timer I : 第一段时间设定.可调整时间范围 : 2~18 Sec Timer II : 第二段时间设定.可调整时间范围 : 3~60 Sec 【操作说明】 1.开机前准备

(1) 用丙酮与无尘纸清理之前光阻图布的残余物.

(2) a. 选择适合尺寸大小的吸盘(1/2",1",2",3",4",5",6",7",8"). b. 将吸盘装上(将吸盘缺口处对准轴心之插梢位置).

c. 将样品放在吸盘上(启动前请确定样品放在吸盘正中央的位置). ※ 不可放入破片只能放4吋晶圆,以防光阻倒流入真空吸槽. 2.开机&设定

(1) a. 将"POWER"开关打开.

b. 将"CONTROL"按钮压下(若没有压下则机台将无法操作). (2) 设定涂布的时间及转速 :

Step I Timer I : 2~18 Sec Speed I : 500~2500R.P.M. Step II Timer II : 3~60 Sec Speed II : 1000~8000R.P.M.

(3) 打开真空帮浦开关,并将"VACUUM"按钮压下此时开始抽真空吸附样品. ※启动"START"前,请确认涂布的时间及转速是否已设定完成. (4) 将光阻剂滴在样品中心的位置.并将上盖盖上,防止意外发生.

(5) 压下"START"按钮,此时机台开始依步骤(4)的设定条件依Step I,Step II 的 顺序开始涂布样品.

(6) 待时间完毕后,机台随即停止运转,完成涂布的动作. 3.关机

(1) 将"VACUUM"关闭,并将真空帮浦关闭,取下完成样品. (2) 将"CONTROL"按钮及"POWER"开关关闭. PS. 此机台有预留废液回收口,可将多余废液排出. (3) 用丙酮清理图布后的光阻痕迹. 周艳：题目以

锂离子电池电极材料TiP2O7和LiTi2(PO4)3的制备及其电化学性能

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